アクティブ除振ユニット VAAV-A 標準タイプ

VAAV-A 空圧アクティブ除振ユニット。国内で初めて製品化した昭和サイエンスの先進除振テクノロジーの粋を結集した最高傑作。バリエーションが豊富な標準シリーズ。高次元でバランスの取れた使い易さ。

アクティブ除振ユニット VAAV-A 標準タイプ

VAAV専用の超高感度加速度センサ搭載。極微小振動を正確に把握します。

独自のアクティブ除振アルゴリズムで高速演算し、高精度な大出力アクチュエータにより瞬時に振動を打ち消します。

床側にも惜しみなく超高感度加速度センサを配備し、フィードフォワード制御で世界最高水準の除振性能を達成しました。

共振現象のない高性能かつ高精度な除振性能を保持しながら、搭載ステージの加振力により与えられた振動も同時に短時間で減衰します。

ステージフィードフォワード機能波形表示ソフトを標準装備。

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メリット

  • 共振の無い振動伝達特性。低周波から高周波までの超広帯域除振を実現。
  • 6自由度の高精度位置制御により、常に安定した除振性能と位置精度を実現。
  • 大きな移動荷重に対応できる高速応答の大流量バルブの選択が可能。
  • CEマーキング対応の安心安全設計。(コントローラSAC-07)
  • ステージフィードフォワード機能、振動波形表示解析ソフトを標準装備。

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製品の用途

  • 半導体製造及び検査装置では、微細な加工を要するウェハへの振動対策とウェハを移動するステージの振動対策に使用されています。
  • 液晶製造及び検査装置では、ガントリーやステージが大きく移動した際の振動を素早く減衰させて、直ちに検査や修正を行う目的で使用され、タクトタイムの向上に役立っています。
  • 超精密工作機械では、大きな荷重の移動に対応しながら、精密な加工を行うテーブル上の振動を取り除く目的で使用されています。

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仕様

型式 搭載可能質量(1台) 寸法(1ユニット)
VAAV-550A 270~900kg 215(W)×160(D)×170(H)mm
VAAV-1000A 500~1700kg 225(W)×210(D)×170(H)mm
VAAV-2200A 1100~3700kg 280(W)×240(D)×208(H)mm
VAAV-4000A 2100~7000kg 330(W)×270(D)×208(H)mm
VAAV-10000A 5000~17000kg 465(W)×400(D)×240(H)mm
VAAV-20000A 11400~38000kg 600(W)×600(D)×284(H)mm
VAAV-30000A 15000~50000kg 700(W)×700(D)×182(H)mm
HA-450 水平アクチュエータ 480(W)×365(D)×405(H)mm
  • ※ 除振台としての標準構成は、4ユニット/1台となります。
  • ※ HA-450は、VAAV-30000Aと組合せて使用される、水平アクチュエータになります。
  • ※ 表中の最大値は、均等荷重且つ動荷重の無いときに適用出来ます。
コントローラ
SAC-07
コントローラSAC-07 300(W)×300(D)×118(H)mm
電源 AC100V〜240V 100VA(単相)
電源ケーブル 3m
レギュレータユニット
RGU-07
250(W)×100(D)×200(H)mm
ユニット接続ケーブル 5m
自由度 3軸6自由度
振動伝達関数 振動伝達関数
位置精度 ±10μm
1次側供給圧力 0.6MPa以上 (クリーンエア)
空気消費量 標準バルブ 60 L/min
高速応答バルブ 250 L/min

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