アクティブ除振ユニット VAAV-H スリムタイプ

VAAV-H 空圧アクティブ除振ユニット。世界最高水準の薄さ! 装置の全高を低く抑えたい方にオススメ!

アクティブ除振ユニット VAAV-H スリムタイプ

VAAV専用の超高感度加速度センサ搭載。極微小振動を正確に把握します。

独自のアクティブ除振アルゴリズムで高速演算し、高精度な大出力アクチュエータにより瞬時に振動を打ち消します。

床側にも惜しみなく超高感度加速度センサを配備し、フィードフォワード制御で世界最高水準の除振性能を達成しました。

共振現象のない高性能かつ高精度な除振性能を保持しながら、搭載ステージの加振力により与えられた振動も同時に短時間で減衰します。

ステージフィードフォワード機能波形表示ソフトを標準装備。

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メリット

  • VAAV-Aシリーズと同性能でありながら、装置の全高を低く抑えることが可能。
  • 空圧制御により全方向の変位、位置制御が高精度で可能。
  • 大きな移動荷重に対応できる高速応答の大流量バルブの選択が可能。
  • CEマーキング対応の安心安全設計。(コントローラSAC-07)
  • ステージフィードフォワード機能、振動波形表示解析ソフトを標準装備。

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製品の用途

  • 半導体製造及び検査装置では、微細な加工を要するウェハへの振動対策とウェハを移動するステージの振動対策に使用されています。
  • 液晶製造及び検査装置では、ガントリーやステージが大きく移動した際の振動を素早く減衰させて、直ちに検査や修正を行う目的で使用され、タクトタイムの向上に役立っています。
  • 超精密工作機械では、大きな荷重の移動に対応しながら、精密な加工を行うテーブル上の振動を取り除く目的で使用されています。

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仕様

型式 搭載可能質量(1台) 寸法(1ユニット)
VAAV-1000-110H 500~1700kg 240(W)×240(D)×110(H)mm
VAAV-2200-110H 1100~3700kg 350(W)×350(D)×110(H)mm
VAAV-4000-110H 2100~7000kg 420(W)×420(D)×110(H)mm
VAAV-7000-140H 3600~12000kg 450(W)×450(D)×140(H)mm
  • ※ 除振台としての標準構成は、4ユニット/1台となります。
  • ※ 表中の最大値は、均等荷重且つ動荷重の無いときに適用できます。
コントローラ
SAC-07
コントローラSAC-07 300(W)×300(D)×118(H)mm
電源 AC100V〜240V 100VA(単相)
電源ケーブル 3m
レギュレータユニット
RGU-07
250(W)×100(D)×200(H)mm
ユニット接続ケーブル 5m
自由度 3軸6自由度
振動伝達関数 振動伝達関数
位置精度 ±10μm
1次側供給圧力 0.6MPa以上 (クリーンエア)
空気消費量 標準バルブ 60 L/min
高速応答バルブ 250 L/min

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