アクティブ除振ユニット VAAV-E リニアモータータイプ

VAAV-E リニアアクティブ除振ユニット 小型コンプレッサーで使用可能。低価格で高いパフォーマンスを発揮!

アクティブ除振ユニット VAAV-E リニアモータータイプ

独自のアクティブ除振アルゴリズムで高速計算し、空気を使用しない超高速応答のリニアアクチュエータと超高感度速度センサにより、瞬時に振動を打ち消します。

荷重支持のみ空気ばねを使用するため、小型コンプレッサーと電源さえあれば床側にも配備した超高感度速度センサを使用したフィードフォワードにより、世界最高水準の除振性能を提供できます。

また、VAAV-Lシリーズ同様、最もソフトな空気ばねを使用しているため、シリーズ最高の除振性能を実現しています。

カタログダウンロード

メリット

  • 共振の無い振動伝達特性。
    VAAVシリーズの中で最もソフトな空気ばねを搭載しているため、シリーズ最高の除振性能を可能とします。
  • リニアモーター制御のため、空気の消費量が少なくて済みます。(パッシブ除振台と同等)
  • 特に振動に敏感な精密測定機器類や低周波振動の大きい設置環境の除振対策に最適化されています。
  • VAAVシリーズで最も高いコストパフォーマンス。
  • 振動波形表示解析ソフトを標準装備。

ページ先頭へ戻る

製品の用途

  • 電子顕微鏡では、高倍率の画像が振動によってブレるのを防ぎます。パッシブ除振台では除ききれない低周波数の振動を嫌う顕微鏡において、このアクティブ除振台が効果を発揮しています。
  • 走査トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡や光学測定装置など、特に振動に敏感な装置の振動対策に使用されています。
  • 低周波振動の大きい設置床環境の除振対策

ページ先頭へ戻る

仕様

型式 搭載可能質量(1台) 寸法(1ユニット)
VAAV-1000E 500~1700kg 215(W)×215(D)×180(H)mm
VAAV-2200E 1100~3700kg 290(W)×290(D)×180(H)mm
VAAV-4000E 2100~7000kg 350(W)×350(D)×270(H)mm

 

コントローラー
SEC-01
420(W)×350(D)×150(H)mm
制御自由度 3軸6自由度
振動伝達関数 下図1、2を参照
位置精度 ±1000μm
所要空気源 0.5MPa以上 消費流量はパッシブと同等
所要電源 AC100V~240V 200VA(単相)
制御方式 速度フィードバック、フロアフィードフォワード
最大推力 水平方向:20N 垂直方向:40N 注)4ユニット/台として使用時
発生磁界 0.04μT以下 注)ユニットから150mm離れた位置での交流磁界
振動伝達関数
振動伝達関数図1 垂直方向の振動伝達関数
振動伝達関数
振動伝達関数図2 水平方向の振動伝達関数

ページ先頭へ戻る

ページ先頭へ戻る