除振台（仕様で選ぶ）｜除振台、防振台、空気バネ、防音ボックスのことなら昭和サイエンス

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仕様で選ぶ ※表内の製品画像をクリックすると詳細ページにジャンプします。	VAAV-A（標準）	VAAV-H（スリム）	VAAV-L（高性能）	VAAV-S（リニア）	卓上型 SAT	定盤型除振台	デスク型除振台	卓上型除振台	空気ばね AT	空気ばね NPC	空気ばね AMP
制御方式	アクティブ	アクティブ	アクティブ	アクティブ	アクティブ	パッシブ	パッシブ	パッシブ	パッシブ	パッシブ	パッシブ
アクチュエーター	空圧	空圧	空圧	リニアモーター	ボイスコイルモーター	-	-	-	-	-	-
ばね要素	空気ばね	空気ばね	空気ばね	空気ばね	スプリング	空気ばね防振ゴム	空気ばね防振ゴム	空気ばねスプリング防振ゴム	空気ばね	空気ばね	空気ばね
空気供給	供給型 ※1	供給型 ※1	供給型 ※1	供給型 ※1	不要 ※1	供給型密封型不要	供給型密封型不要	供給型密封型不要	供給型	供給型密封型	供給型
レベル調整	自動	自動	自動	自動	自動	自動 ※2	自動 ※2	自動 ※2	自動	自動手動	自動
固有値（垂直）	-	-	-	-	-	1.0〜 9.0Hz	1.0〜 4.0Hz	2.5〜 25.0Hz	2.5〜 4.0Hz	4.0〜 5.0Hz	1.5〜 2.5Hz
固有値（水平）	-	-	-	-	-	0.5〜 3.8Hz	0.5〜 3.0Hz	2.5〜 4.0Hz	2.5〜 4.0Hz	4.0〜 5.0Hz	0.8〜 1.5Hz
最大荷重	500t	500t	7t	1.7t	80kg	500kg	200kg	120kg	500t	6.4t	1.4t

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顕微鏡							CD	ST-X
電子天秤							SD	BB-S1
あらさ計形状測定器						ORP	CD	PB-5AA
膜厚測定器						OSD	ND
干渉計						OSD	ND	PB-5AA
AFM,STM,SPM						OSD	ND	PB-5AA
光学実験						OSD	CDH	PHB-A
各種ステージ						ORD
真円度測定器							CD
電子顕微鏡（SEM,TEM）
シリコンウェハ用平坦度測定装置
露光装置、EB
プローバー							CD
半導体検査装置							CD
液晶関連装置
三次元測定機
超精密加工機
超大型装置

搭載質量で選ぶ ※表内の◯をクリックすると詳細ページにジャンプします。	▼ アクティブ					▼ パッシブ			▼ 空気ばねユニット
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10〜50kg
50〜100kg
100〜200kg
200〜500kg
500〜1000kg
1.0〜4.0t
4.0t〜
500t