クリーンルーム内のフリーアクセス床は軽量化のためアルミダイカストで製作され、それを支持する脚部も
振動に対して決して強いとは言えません。周囲の外乱振動を装置に伝えやすいため、振動スペックの厳しい高精度な装置を設置しようとした場合、何らかの振動対策を実施する必要があります。
また、質量の大きな装置を設置しようとした場合、装置を支持するための剛性架台が必要になるケースもあります。

昭和サイエンスでは、フリーアクセス床下の建屋構造や配管などの設置状況に合わせたフレーム設計をし、
装置スペックに合わせた除振要素を組み合わせて、最適なシステムをご提案します。

• フリーアクセス床下へ落とし込み、床面と同一面となる様に設置が可能です。
• 設置される装置の振動スペックに合わせ、剛性架台からアクティブ除振台まで最適なシステムをご提案します。
• 設置場所調査・設計・製作・搬入設置までを一貫して実施します。
• 鋼製定盤のため、装置固定タップなどの加工が容易ですので強固な耐震固定が可能となります。

• 半導体製造・検査装置などクリーンルームに設置されるあらゆる装置。
• フリーアクセスフロア（二重床）に設置される精密機器。