VAAV専用の超高感度加速度センサ搭載。極微小振動を正確に把握します。

独自のアクティブ除振アルゴリズムで高速演算し、高精度な大出力アクチュエータにより瞬時に振動を打ち消します。

床側にも惜しみなく超高感度加速度センサを配備し、フィードフォワード制御で世界最高水準の除振性能を達成しました。

共振現象のない高性能かつ高精度な除振性能を保持しながら、搭載ステージの加振力により与えられた振動も同時に短時間で減衰します。

ステージフィードフォワード機能、波形表示ソフトを標準装備。

VAAVシリーズの中で最もソフトな空気ばねを搭載しているため、シリーズ最高の除振性能を可能とします。

• 共振の無い振動伝達特性。
  VAAVシリーズの中で最もソフトな空気ばねを搭載しているため、シリーズ最高の除振性能を可能とします。
• 空圧制御により全方向の変位、位置制御が高精度で可能。
• 特に振動に敏感な精密測定機器類や低周波振動の大きい設置環境の除振対策に最適化されています。
• CEマーキング対応の安心安全設計。（コントローラSAC-07）
• 振動波形表示解析ソフトを標準装備。

• 電子顕微鏡では、高倍率の画像が振動によってブレるのを防ぎます。パッシブ除振台では除ききれない低周波数の振動を嫌う顕微鏡において、このアクティブ除振台が効果を発揮しています。
• 走査トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡や光学測定装置など、特に振動に敏感な装置の振動対策に使用されています。
• 低周波振動の大きい設置床環境の除振対策