デスク型除振台 サーボデスクシステム シリーズ

除振専用に設計された高剛性デスク一体型の高性能除振台。定盤上面はSPCCとSUS304の2種類用意しています。

定盤上面はSPCCとSUS304の2種類用意しています。
適したサイズがない場合は...カスタム対応可能です。お問合せ下さい。
クリーンルームでの使用や、定盤スペースの有効活用のためのオプションを用意しています。

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メリット

  • 自動レベリング機能搭載(水平維持) ※UDH、PD、SDを除く
  • 昭和サイエンスのデスク型除振台(防振台)は、最高水準の除振性能と減衰性能を誇ります。
    設置したその瞬間から、わずらわしい振動トラブルから解放されます。お客様の作業にストレスを与えません。
  • 用途に合わせて、ウィングなどの豊富なオプションをご用意しております。
    お客様の作業環境に合わせて、カスタマイズできます。
  • クリーンルーム対応のSUSバージョンもご用意しております。
  • M6タップ、50mmピッチ加工済み、ブレッドボードタイプも標準でご用意しております。(CDHシリーズ)
  • テーブルタップ(100V/1500W)を標準装備。※全機種対応

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製品の用途

  • 顕微鏡 / 電子天秤 / あらさ計 / 形状測定器 / 干渉計 / AFM / STM / SPM / 光学実験 / 真円度測定器 / プローバー / 半導体検査装置

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製品のラインナップ

ND 高性能空気供給型(高性能タイプ)

ND 高性能空気供給型(高性能タイプ)
空気供給型自動レベル調整機能
固有振動数: 垂直 約1.0Hz   水平 約0.5Hz

高性能空気ばねにより、水平方向0.5Hzの低固有振動数が可能です。自動レベル調整器により、定盤の水平を一定に保ちます。

※ステンレス(SUS)仕様は、オプションになります。

ND
型式 ND-8060-SPCC ND-8060-SUS ND-1085-SPCC ND-1085-SUS ND-1285-SPCC ND-1285-SUS
固有振動数(Hz) 垂直方向 約1.0 水平方向 約0.5
除振方式 空気ばね
レベリング方法 自動レベル調整器による自動レベリング
空気供給圧 (MPa) 0.4
定盤上面 SPCC SUS304 SPCC SUS304 SPCC SUS304
外形寸法
(W×D×Hmm)
800x600x750 1000x850x750 1200x850x750
定盤寸法 (W×Dmm) 685x485 885x735 1085x735
製品重量(kg) 170 230 260
搭載可能重量(kg) 200
付属品 φ6 ウレタンチューブ 3m、継手 オス、4個口 コンセント、フィルターレギュレータ
納期 4週間
ND-C (定盤一部開放型)
型式 ND-8060-
C-SPCC
ND-8060-
C-SUS
ND-1085-C1-SPCCND-1085-C1-SUS ND-1085-C2-SPCCND-1085-C2-SUS ND-1085-C3-SPCCND-1085-C3-SUS ND-1285-C1-SPCCND-1285-C1-SUS ND-1285-C2-SPCCND-1285-C2-SUS ND-1285-C3-SPCCND-1285-C3-SUS
固有振動数(Hz) 垂直方向 約1.0 水平方向 約0.5
除振方式 空気ばね
レベリング方法 自動レベル調整器による自動レベリング
空気供給圧 (MPa) 0.4
定盤上面 SPCC
SUS304
外形寸法
(W×D×Hmm)
800x600x765 1000x850x765 1200x850x765
定盤開放面寸法
(W×Dmm)
400x420 400x500 500x600 600x500 400x500 500x600 600x500
製品重量(kg) 170 230 260
搭載可能重量(kg) 100
付属品 φ6 ウレタンチューブ 3m、継手 オス、4個口 コンセント、フィルターレギュレータ
納期 4週間
  • ※詳細寸法につきましては、図面をご確認ください。
  • ※搭載可能質量は偏荷重により下がります。
  • ※搭載装置の”重心位置が高い” “偏荷重が大きい”場合は当社にご相談下さい。

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CD/CDH 空気供給型(汎用タイプ)

CD/CDH 空気供給型(汎用タイプ)
空気供給型自動レベル調整機能
固有振動数: 垂直 約1.2Hz   水平 約1.8Hz

空気ばね方式の除振テーブルで、自動レベル調整器を装備し、常に定盤の水平を一定に保ちます。
スマートデザイン採用で使用空間に違和感無く溶け込むデスクタイプの汎用除振台です。

  • ※ステンレス(SUS)仕様は、オプションになります。
  • ※掲載写真中、上部カバー及び定盤上面のSUSはオプションです。
  • ※定盤一部開放型もご用意しております。
  • 【ハニカム定盤搭載のCDHについて】
  • ・定盤上面は、M6タップ50mmピッチを標準装備。
  • ・定盤全面開放型のみとなります。
CD/CDH(ハニカム定盤タイプ)
型式 CD-8060-SPCCCDH-8060-SPCC CD-8060-SUSCDH-8060-SUS CD-1085-SPCCCDH-1085-SPCC CD-1085-SUSCDH-1085-SUS CD-1285-SPCCCDH-1285-SPCC CD-1285-SUSCDH-1285-SUS
固有振動数(Hz) 垂直方向 約1.2 水平方向 約1.8
除振方式 空気ばね
レベリング方法 自動レベル調整器による自動レベリング
空気供給圧 (MPa) 0.4
定盤上面 SPCC SUS304 SPCC SUS304 SPCC SUS304
外形寸法
(W×D×Hmm)
800x600x750 1000x850x750 1200x850x750
定盤寸法
(W×Dmm)
685x435 885x685 1085x685
製品重量(kg) 130 180 230
搭載可能重量(kg) 200
付属品 φ6 ウレタンチューブ 3m、継手 オス、4個口 コンセント、フィルターレギュレータ
納期 4週間
CD-C(定盤一部開放型)
型式 CD-8060-
C-SPCC
CD-8060-
C-SUS
CD-1085-C1-SPCCCD-1085-C1-SUS CD-1085-C2-SPCCCD-1085-C2-SUS CD-1085-C3-SPCCCD-1085-C3-SUS CD-1285-C1-SPCCCD-1285-C1-SUS CD-1285-C2-SPCCCD-1285-C2-SUS CD-1285-C3-SPCCCD-1285-C3-SUS
固有振動数(Hz) 垂直方向 約1.2 水平方向 約1.8
除振方式 空気ばね
レベリング方法 自動レベル調整器による自動レベリング
空気供給圧 (MPa) 0.4
定盤上面 SPCC
SUS304
外形寸法
(W×D×Hmm)
800x600x765 1000x850x765 1200x850x765
定盤開放面寸法
(W×Dmm)
400x420 400x500 500x600 600x500 400x500 500x600 600x500
製品重量(kg) 130 180 230
搭載可能重量(kg) 140 100 120 100
付属品 φ6 ウレタンチューブ 3m、継手 オス、4個口 コンセント、フィルターレギュレータ
納期 4週間
  • ※詳細寸法につきましては、図面をご確認ください。
  • ※搭載可能質量は偏荷重により下がります。
  • ※搭載装置の”重心位置が高い” “偏荷重が大きい”場合は当社にご相談下さい。
ND・CD 定盤一部開放型

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ID 空気供給型(低コストタイプ)

ID 空気供給型(低コストタイプ)
空気供給型自動レベル調整機能
固有振動数: 垂直 1.2Hz   水平 約1.8Hz

空気ばね方式の除振デスクで、自動レベル調整器を装備し、常に定盤の水平を一定に保ちます。
性能とコストを両立させたエコノミータイプです。

  • ※オペレーション台は、オプションになります。
  • ※下部棚板は、オプションになります。
  • ※オプションでオペレーション台と棚板が取付可能です。
ID
型式 ID-8060 ID-6085 ID-1085 ID-1285
固有振動数(Hz) 垂直方向 約1.2 水平方向 約1.8
除振方式 空気ばね
レベリング方法 自動レベル調整器による自動レベリング
空気供給圧 (MPa) 0.4
定盤上面 SUS304
外形寸法
(W×D×Hmm)
770x535x750 670x785x750 970x785x750 1,170x785x750
定盤寸法 (W×Dmm) 685x435 585x685 885x685 1,085x685
製品重量(kg) 106 130 160 180
搭載可能重量(kg) 200
付属品 φ6 ウレタンチューブ 3m、継手 オス、4個口 コンセント、フィルターレギュレータ
納期 4週間
ID用オプション
オプション 棚板(下部棚) *オペレーション台
納期 3週間

注1)オペレーション台は、左右に取り付け可能で、幅は200、300、450mmからお選び頂けます。

  • ※詳細寸法につきましては、図面をご確認ください。
  • ※搭載可能質量は偏荷重により下がります。
  • ※搭載装置の”重心位置が高い” “偏荷重が大きい”場合は当社にご相談下さい。

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UD 空気供給型 UD-A2 / 空気密封型 UD-H2(簡易タイプ)

UD 空気供給型 UD-A2 / 空気密封型 UD-H2(簡易タイプ)
空気供給型自動レベル調整機能
固有振動数: 垂直・水平 約2.5Hz

特殊な高性能空気ばねにより、搭載機器の精度が
確保出来ます。
使い易さを優先した機能デザインにより、ストレスを感じさせません。

  • ※UD-A2:自動圧力調整器付き
  • ※UD-H2:手押しポンプ(付属品)による手動圧力調整

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SD 特殊高減衰ゴム型(簡易タイプ)

SD 特殊高減衰ゴム型(簡易タイプ)
高減衰ゴム型アジャスター機能
固有振動数: 垂直 約4.0Hz 水平 約3.0Hz

専用開発の特殊高減衰防振ゴムを採用したメンテナンスフリー除振台。
長年の経験と、高度な技術から生まれた昭和サイエンスが誇るユニークなデスク型除振台です。

  • ※ステンレス(SUS)仕様は、オプションになります。
  • ※掲載写真中、上部カバー及び定盤上面のSUSはオプションです。
SD
型式 SD-8060-SPCC SD-8060-SUS SD-1080-SPCC SD-1080-SUS SD-1280-SPCC SD-1280-SUS
固有振動数(Hz) 垂直方向 約4 水平方向 約3
除振方式 防振ゴム
レベリング方法 防振ゴム
定盤上面 SPCC SUS304 SPCC SUS304 SPCC SUS304
外形寸法
(W×D×Hmm)
800x600x750 1000x800x750 1200x800x750
定盤寸法 (W×Dmm) 685x485 885x685 1085x685
製品重量(kg) 80 120 150
搭載可能重量(kg) 160 130 120
付属品 4個口 コンセント
納期 3週間
SD-C (定盤一部開放型)
型式 SD-8060-
C-SPCC
SD-8060-
C-SUS
SD-1080-C1-SPCCSD-1080-C1-SUS SD-1080-C2-SPCCSD-1080-C2-SUS SD-1080-C3-SPCCSD-1080-C3-SUS SD-1280-C1-SPCCSD-1280-C1-SUS SD-1280-C2-SPCCSD-1280-C2-SUS SD-1280-C3-SPCCSD-1280-C3-SUS
固有振動数(Hz) 垂直方向 約4 水平方向 約3
除振方式 防振ゴム
レベリング方法 防振ゴム
定盤上面 SPCC
SUS304
外形寸法
(W×D×Hmm)
800x600x765 1000x800x765 1200x800x765
定盤開放面寸法
(W×Dmm)
400x470 400x500 500x600 600x500 400x500 500x600 600x500
製品重量(kg) 80 120 150
搭載可能重量(kg) 110 80 90 100 70 80
付属品 4個口 コンセント
納期 3週間
  • ※詳細寸法につきましては、図面をご確認ください。
  • ※搭載可能質量は偏荷重により下がります。
  • ※搭載装置の”重心位置が高い” “偏荷重が大きい”場合は当社にご相談下さい。
SD 定盤一部開放型

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オプション

ウイング

ウイング

デスク型除振台に取り付け、作業スペース、除振する必要のない各種機器の設置スペースを拡げます。
ウイングに搭載可能な質量は20kgです。

取り付け可能なデスク型除振台は、ND、SD、UD型です。
側面の左右に取り付けることができます。

集中排気型自動レベル調整器

集中排気型自動レベル調整器

自動圧力調整器から排出される空気は、本体に取付けられたチューブを通り排出されます。
このチューブの先端を室外などに開放すると、室内の空気を汚すことはありません。
クリーンルームに適しています。

デスク型:ND、CD/CDH、ID型
定盤型:OSD、ORP、ORD、ORE型 に対応します。

穴あきステンレスカバー

穴あきステンレスカバー

クリーンルーム対応に適したカバーです。

デスク型:ND、CD/CDH、SD型に取り付け可能です。

その他

側面、背面カバー デスク型:ND、SD型に取り付け可能です。
オペレーション台 デスク型:ID型に取り付け可能です。
棚板 デスク型:ID型に取り付け可能です。

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