• 

• 

  フレームに装着状態

ベローズ方式を採用した空気ばね「ATシリーズ」

荷重に合わせて5種類を用意、組合せにより500トンを超える超大型装置を搭載可能です。

水平・垂直とも優れた除振性能を有し、空気ばね内部に減衰機構及び過浮上防止機能を設けているのでコンパクト。

自動レベル調整器と組み合わせて使用するのでステージの移動やワークの重量が変わっても定盤(作業面）を一定の高さに保ちます。

耐久性の高い特殊ゴムを使用しているので高速ステージにも対応。

装置に合わせて機種選定も承ります。

ATシリーズの振動伝達関数

• 水平・垂直共に大型パッシブユニット中、最も優れた除振性能。
• 空気ばね内部に減衰機構及び過浮上防止機構を内蔵。
  コンパクトで且つ通常の空気ばねには無い高い減衰性能。
• 自動レベル調整器と合わせて使用することでステージの移動やワークの変動にも対応し
  定盤（作業面）の水準を常にキープ。
• 耐久性の高い特殊ゴムを採用し、高速ステージにも対応。
• ATシリーズを組込んだ除振台(フレーム）も製作可能。装置に合わせたシステムを提案します。

• 半導体検査装置 / 電子顕微鏡(SEM,TEM) / 液晶検査装置 / 液晶リペア装置 / 超精密加工機