除振台+精密ステージ

自動XYステージにデスク型除振台と顕微鏡を搭載するための門型支柱をセットアップ。3つをパッケージ化する事により、選定や設計の手間を軽減します

使用状況に合わせ最適化された本製品。
バラバラに購入して自分で組み立てるという手間も省け、一元化によるコストダウンも実現。

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メリット

  • パッケージ化により設計、選定、発注、組み立て、調整工数を大幅削減。
  • 自動XYステージはアルミプレートを取り外し、透過照明にも対応
    (オプションのガラスプレートを使用時)
  • お客様の要望に合わせて、カスタマイズも可能。
  • 搭載される自動XYステージに合わせて最適化された除振台。
  • 除振台は特殊高減衰防振ゴムを採用。メンテナンスフリーで負担軽減。
  • 用途に合わせて、中間棚やウィングなどの豊富なオプションを用意。

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製品の用途

  • ウェハ、基板等の外観検査装置 / 顕微鏡システム / 3Dスキャンシステム / プローバ装置

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システム例

フォーカシングユニット、顕微鏡を組み付ける事で、いろいろなシステムに応用できます。

システム例

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この他にも

除振架台と精密X-Yステージを組み合わせたい。除振架台の上にワーク姿勢可変治具、傾斜ステージ(ゴニオステージ)などを組み込みたい。まとめて設計まとめて製造まとめて納品いたします。

設計例1

除振台+X-Yステージ

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設計例2

シリンダブロック検査台

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