- パッケージ化により設計、選定、発注、組み立て、調整工数を大幅削減。
- 自動XYステージはアルミプレートを取り外し、透過照明にも対応
(オプションのガラスプレートを使用時) - お客様の要望に合わせて、カスタマイズも可能。
- 搭載される自動XYステージに合わせて最適化された除振台。
- 除振台は特殊高減衰防振ゴムを採用。メンテナンスフリーで負担軽減。
- 用途に合わせて、中間棚やウィングなどの豊富なオプションを用意。
- ウェハ、基板等の外観検査装置 / 顕微鏡システム / 3Dスキャンシステム / プローバ装置
フォーカシングユニット、顕微鏡を組み付ける事で、いろいろなシステムに応用できます。