除振台

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▼ アクティブ ▼ パッシブ ▼ 空気ばねユニット
VAAV-A VAAV-A(標準) VAAV-H VAAV-H(スリム) VAAV-L VAAV-L(高性能) VAAV-E VAAV-E(リニア) 卓上型 i4 Vario 卓上型
i4 Vario
卓上型 SAT 卓上型
SAT
定盤型除振台 定盤型
除振台
デスク型除振台 デスク型
除振台
卓上型除振台 卓上型
除振台
空気ばねAT 空気ばね
AT
空気ばねNPC 空気ばね
NPC
空気ばねAMP 空気ばね
AMP
制御方式 アクティブ アクティブ アクティブ アクティブ アクティブ アクティブ パッシブ パッシブ パッシブ パッシブ パッシブ パッシブ
アクチュエーター 空圧 空圧 空圧 リニア リニア ボイスコイル - - - - - -
ばね要素 空気ばね 空気ばね 空気ばね 空気ばね スプリング スプリング 空気ばね
防振ゴム
空気ばね
防振ゴム
空気ばね
スプリング
防振ゴム
空気ばね 空気ばね 空気ばね
空気供給 供給型
※1
供給型
※1
供給型
※1
供給型
※1
不要
※1
不要
※1
供給型
密封型
不要
供給型
密封型
不要
供給型
密封型
不要
供給型 供給型
密封型
供給型
レベル調整 自動 自動 自動 自動 自動
※2
自動 自動
※2
自動
※2
自動
※2
自動 自動
手動
自動
固有値(垂直) - - - - - - 1.0〜
9.0Hz
1.0〜
4.0Hz
2.5〜
25.0Hz
2.5〜
4.0Hz
4.0〜
5.0Hz
1.5〜
2.5Hz
固有値(水平) - - - - - - 0.5〜
3.8Hz
0.5〜
3.0Hz
2.5〜
4.0Hz
2.5〜
4.0Hz
4.0〜
5.0Hz
0.8〜
1.5Hz
最大荷重 500t 500t 7t 7t 600kg 80kg 500kg 200kg 120kg 500t 6.4t 3.1t
  • ※1:AC100-240V電源が必要です。
  • ※2:一部の機種を除く。

装置・用途で選ぶ

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▼ アクティブ ▼ パッシブ ▼ 空気ばねユニット
VAAV-A VAAV-A(標準) VAAV-H VAAV-H(スリム) VAAV-L VAAV-L(高性能) VAAV-E VAAV-E(リニア) 卓上型 i4 Vario 卓上型
i4 Vario
卓上型 SAT 卓上型
SAT
定盤型除振台 定盤型
除振台
デスク型除振台 デスク型
除振台
卓上型除振台 卓上型
除振台
空気ばねAT 空気ばね
AT
空気ばねNPC 空気ばね
NPC
空気ばねAMP 空気ばね
AMP
顕微鏡           CD ST-X      
電子天秤           SD BB-S1      
あらさ計
形状測定器
        ORP CD PB-5AA      
膜厚測定器         OSD ND        
干渉計     OSD ND PB-5AA    
AFM,STM,SPM     OSD ND PB-5AA    
光学実験     OSD CDH PHB-A    
各種ステージ             ORD      
真円度測定器               CD    
電子顕微鏡
(SEM,TEM)
               
シリコンウェハ用
平坦度測定装置
                   
露光装置、EB                  
プローバー               CD    
半導体検査装置           CD      
液晶関連装置                
三次元測定機                
超精密加工機                
超大型装置                  
VAAV-E(リニア)のアプリケーション 平台型アクティブ除振台

搭載質量で選ぶ

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▼ アクティブ ▼ パッシブ ▼ 空気ばねユニット
VAAV-A VAAV-A(標準) VAAV-H VAAV-H(スリム) VAAV-L VAAV-L(高性能) VAAV-E VAAV-E(リニア) 卓上型 i4 Vario 卓上型
i4 Vario
卓上型 SAT 卓上型
SAT
定盤型除振台 定盤型
除振台
デスク型除振台 デスク型
除振台
卓上型除振台 卓上型
除振台
空気ばねAT 空気ばね
AT
空気ばねNPC 空気ばね
NPC
空気ばねAMP 空気ばね
AMP
10〜50kg                
50〜100kg                
100〜200kg                  
200〜500kg      
500〜1000kg          
1.0〜4.0t            
4.0t〜            
500t                  
評価ウエイト 30t

タイプ・型式で選ぶ

  • アクティブ除振ユニット
    • VAAV-A 標準タイプ
    • VAAV-H スリムタイプ
    • VAAV-L 高性能タイプ
    • VAAV-E リニアモータータイプ
    • 卓上型 SAT
    • 卓上型 i4 Vario
  • アクティブ除振 関連コンテンツ
    • ステージフィードフォワード制御
    • 波形表示ソフト
    • Video
  • パッシブ除振台
    • 定盤型除振台
    • デスク型除振台
    • 卓上型除振台
  • 空気ばねユニット
    • ベローズ式空気ばね AT
    • 密封式空気ばね NPC
    • 高性能空気ばねユニット AMP
  • その他オプション
    • 除振台+精密ステージ
    • 精密定盤
    • レベリングブロック
    • レベリングボルト
    • 暗室
    • イーグルパッド
    • 無振動継手
    • 除振(防振)パレット

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